| 用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统 |
| CN201410126645.X 2014-3-31 发明申请 |
| 2014-7-2 |
| 一种用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统，包括脉冲激光器，特征在于其构成是：沿脉冲激光器的激光输出方向依次是第一分光镜、系统光路和第二分光镜，所述的第一分光镜和第二分光镜与光路成45°，在第一分光镜的反射光方向是能量监测系统，该能量监测系统的输出端接激光器控制系统的输入端，该激光器控制系统的输出端接所述的脉冲激光器的控制端，在第二分光镜的反射光输出方向是样品池，在第二分光镜另一面与所述的样品池相对的是观察系统。本发明能够精确控制入射于样品上的激光的剂量值，进而能够精确的控制剥蚀样品离子的数量，以此提高激光等离子体质谱仪的测量精度，本发明适用于各种波段的激光剥蚀系统。 |
微信公众号