| 多集成尖端扫描探针显微镜 |
| US16799221 2020-2-24 发明申请 |
| 2020-6-18 |
| 用于使用多个集成的尖端扫描探针显微镜来表征样品的装置和系统。 多个集成尖端(MIT)探针由两个或更多个单片集成且可移动的AFM尖端组成，所述AFM尖端被定位成彼此在纳米内，使得能够在真空或环境条件下实现意想不到的微纳米级探测功能。 该尖端结构与电容梳状结构相结合，提供了无激光器的高分辨率电输入电输出激励和感测能力，以及与结型场效应晶体管的新颖集成，用于信号放大和低噪声操作。 这种“片上平台”方法是相对于基于使用支撑装置：激光器，纳米定位器和电子器件的堆叠功能化的单尖端的现有技术的一种范例转变。 |
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