窗框磁体组件和用于质谱仪的离子束的方法
 
JP2007256509  2007-9-28  发明授权

2014-6-11
 
  离子注入系统,用于提供包括质量分析的带状束的离子束源,其包括等离子体源和提取组分,所述提取组件被配置成提取的发散离子束和直接离子束到窗磁体组件。窗框磁体组件包括两对线圈正交设置在窗形轭铁,以产生独立可控的均匀的横场磁场。第一组线圈产生均匀场的整个宽度的发散光束以将其转换成均匀平行的宽的离子束。第二组线圈弯曲片的离子束在正交方向,得到质量用于分散体离子质量选择。
 
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