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用于泵浦离子光学器件装置和方法

US11636298 2006-12-6 发明授权

2014-6-3

一种用于质谱仪或其它离子光学装置的差动泵送的设备和方法，通过将一个或多个隔板放置在主转子的表面附近，提供在涡轮分子泵的主转子的表面上引入的横向压降。因此，利用单个泵实现真空室内具有各自不同压力的两个或多个空间区域。