| 质谱计和质谱分析方法 |
| US12952453 2010-11-23 发明申请 |
| 2011-6-2 |
| 本发明公开了一种质谱仪和质谱仪方法，适用于经常引起器件缺陷的几微米的几乎不挥发性的微小有机异物的质谱仪。 将样品加热探头气化的样品导入离子源中，根据质荷比分离检测这样电离的样品。 在该质谱技术中，样品加热探头被圆柱形的气体引导机构覆盖，并且气化的样品通过气体引导机构被有效地引导到离子源，从而使得在现有技术中否则可能被分散和浪费的样品组分的贡献成为可能。 结果，实现了比现有技术具有更高灵敏度和信噪比的质谱分析。 |
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