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4
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表面镀膜离子源
US13294715 2011-11-11 发明申请
2012-11-15
质谱仪包括电子冲击(“EI”)或化学电离(“CI”)离子源,并且离子源包括第一涂层或表面。 第一涂层或表面由金属碳化物、金属硼化物、陶瓷或DLC或离子注入的过渡金属形成。
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