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产业专利数据

用于质谱仪入口的低电导硅微泄漏的系统、方法和设备

US12888973 2010-9-23 发明授权

2014-6-3

提供了系统、方法和设备，在一些实施例中，质谱仪微泄漏通过这些系统、方法和设备包括由半导体处理工具制造的多个通道，并且包括提供通道通路的多个入口孔。