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用于制造用于扫描探针显微镜的探针的探针，方法，装置和计算机程序

EP19215302 2019-12-11 发明申请

2020-6-17

本发明涉及一种用于制造扫描探针显微镜的探针的方法，包括以下步骤：在衬底上产生和/或处理粒子束诱导的探针尖端；其中粒子束的随时间变化的相互作用位置以这样的方式被控制，使得所产生和/或处理的探针尖端的基部区域的侧表面具有负曲率。