| 一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体 |
| CN202010150750.2 2020-2-20 发明申请 |
| 2020-6-16 |
| 本发明一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体，包括基座、滑杆、套管及弹簧片，其特征在于还包括第一压电管、第二压电管及探针支架，所述第一压电管一端固定在基座，另一端与第二压电管沿轴向串联固定，套管同心共轴固定于第二压电管形变自由端，弹簧片施加沿套管径向压力夹持滑杆于导轨内壁，滑杆滑动方向沿套管轴向，探针支架与第二压电管同心共轴设置，其一端固定在第一压电管与第二压电管串联连接位置。该发明镜体径向和轴向结构均高紧凑，第二压电管兼用于逼近可实现针样逼近步骤的低启动电压，同时保证扫描单元高刚性，主体采用绝缘材料制成，结构横断面无导电回路，特别适用于极低温、强/快变磁场、强震动的极端物理条件。 |
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