| 一种ICP-MS装置及方法 |
| CN201310756585.5 2013-12-31 发明申请 |
| 2014-5-7 |
| 本发明涉及一种ICP-MS装置，包括ICP离子源、真空接口、离子传输模块、质量分析器和检测器，其特点是：所述真空接口包括采样锥和至少一组阵列电极，所述至少一组阵列电极的每一片电极均为中间开孔的电极板，所述至少一组阵列电极相邻两片之间施加同幅同频反向RF电压；所述至少一组阵列电极设置在所述采样锥和离子传输模块之间，所述至少一组阵列电极的至少两片之间通入碰撞/反应气。本发明还提供了一种ICP-MS方法。本发明具有离子收集效率高、灵敏度高、质谱干扰消除效果好等优点。 |
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