| 带电束流收集器和颗粒吸引子 |
| WOUS06021646 2006-6-2 发明申请 |
| 2006-12-14 |
| 一个系统，方法，和离子注入期间被提供用于减轻污染装置。一种离子源，端站，和质量分析仪位于该离子源和所述端站之间被设置; 其中一种离子束被形成从所述离子源和行进通过所述质量分析仪对所述端站。一离子束流收集器组件包括一粒子收集器，颗粒吸引子，和相关联的屏蔽与所述质量分析仪; 其中一个所述颗粒吸引子的电位是可操作以吸引和约束所述粒子收集器内的污染颗粒; 和其中所述屏蔽被可操作以屏蔽该电该颗粒吸引子的电位从一种电的电位所述质量分析仪内的一离子束。 |
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