| 测量装置由一放电的固体样品quantometer |
| JP2013248023 2013-11-29 发明申请 |
| 2014-4-17 |
| 要解决的问题 : 放电或固体聚合物org。quantometer所述样品的分析方法，该亮度的强度; 和\/或同时增加该电离产率(质谱)中，蚀刻和同时以增加该速度以增加所述蚀刻的均匀性，所述检测到的信号和SN比的提高。溶液 : 有机材料包括一种固体样品的层3quantometer关系的放电，所述放电灯2和一步骤，用于将所述样品，所述放电灯，和至少一种稀土元素，气体1和含氧气体被送入一混合气体，氧的气体浓度通过质量的1%到10%通过所述混合物的质量和所述步骤，所述放电电极的所述光发光灯的无线电频率进行电放电产生等离子体的放电光发射和一步骤，所述有机等离子体照射所述的材料层和一步骤，所述等离子体的离子种类和\/或至少一个信号指示一个通过1和激发态物质包括一步骤测量的所述谱分析，将选择的绘制 : 图1 |
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