| 高电流和midium能量离子注入机具有大大改进的能量 |
| KR1020120015730 2012-2-16 发明申请 |
| 2013-8-26 |
| 根据本发明的200频带的能级高电流能量-注入装置离子中间能量被显著地提高了一种程度; 被使用作为一个信号标识所述本发明根据用于头部分和所述源离子注入装置产生离子束，从一离子束的所述不以产生一个质量分析器和离子类型的，所述离子束用于偏压该扫描组件和，所述的一种优选的所述离子束内离子的能量加速到具有一个加速管的问题和，所述的一种扫描离子束的路径由一晶片的支撑一半导体晶片和高电流中的中间能量离子注入器，所述质量分析仪和所述源头部分和所述的加速度管发出和所述扫描组件包括所述相同的终端部分和; 所述终端部分被闭合时，所述源头部分和所述终端部分，用于绝缘所述晶体管的一号1绝缘和; 所述终端部分的外底部端，其被所述下接触和包括绝缘数2之间形成由的。 |
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