| 质谱用涡轮分子泵控制电路 |
| CN201010193975.2 2010-6-8 发明申请 |
| 2011-12-14 |
| 本发明公开了一种质谱用涡轮分子泵控制电路，其包括一上位机PC，所述上位机PC通过一通信接口连接一FPGA模块，所述FPGA模块连接一模数转换芯片模块；其还包括一控制电路模块，所述控制电路模块接电源模块，所述控制电路模块包括一涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路、一涡轮分子泵报错电路、一涡轮分子泵转速信号检测电路以及一涡轮分子泵状态检测电路；所述FPGA模块还连接这所述涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路和涡轮分子泵报错电路，所述模数转换芯片模块还连接着所述涡轮分子泵转速信号检测电路。该控制电路控制简单只需要几个TTL电平信号就可以完成涡轮分子泵的控制。 |
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