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方法和装置以增加产量的二次离子

JP2011210846 2011-9-27 发明授权

2014-3-19

二次离子质谱仪的灵敏度SIMS利用增加的水蒸气，提高产量正二次离子由主聚焦离子束溅射。水的蒸气被喷射通过针是位于靠近样品和电偏置，以减小干扰与二次离子采集领域。用于金属，特别是灵敏度增强，溅射趋于为阳离子。