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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于原子力显微镜的探针及其制造方法

KR1020180154950 2018-12-5 发明申请

2020-6-16

一种用于原子力显微镜的探针，包括探针针尖和位于探针针尖表面上的涂层，该涂层包括金属硅化物(金属硅化物)。用于原子力显微镜的探针是肖特基势垒，因为在测量半导体样品时不会发生由于肖特基势垒引起的电流扰动。本发明可以大大提高半导体表面导电测量的准确性和可靠性。提供了一种用于原子力显微镜的探针，以提高半导体表面的导电测量的分辨率和可靠性。