| 质量分析可变出口孔径 |
| US13474186 2012-5-17 发明授权 |
| 2014-3-11 |
| 提供了一种用于从离子束线减少离子注入物质的不需要的同位素的方法和设备。 这里公开的装置是一种质量分析可变出口孔，其选择性地减小由离子束看到的出口孔的尺寸。 在一个实施例中，可变质量分析出口孔位于质量分析器内解析孔上游的位置处，并且有效地限制出口孔的尺寸，以便允许期望的注入同位素通过，同时阻挡不需要的注入同位素通过。 在一个特定实施例中，质量分析可变出口孔具有机械驱动机构，该机械驱动机构使得阻挡结构能够在基于离子束的一个或多个特性操作的控制单元的引导下以渐变方式移动到离子束的路径中。 |
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