| 方法和装置用于大的泄漏测试 |
| WOUS04018615 2004-6-10 发明申请 |
| 2004-12-23 |
| 用于大的泄漏测试被提供的方法和装置。该装置包括一测试线，以接收一含有痕量气体样品，一质谱仪检测所述的微量气体和具有一个用于接收所述的微量气体入口，一个第一的真空泵，其特征在于通过一相对高的反向流动速率用于光气体和一种用于重气体相对低的反向流动速率，第一的真空泵具有一泵入口和一个foreline，该泵所述的质谱仪的入口被耦合到所述入口; 和一个第二的真空泵配置到背第一的真空泵。该装置还包括一轨迹所述测试线之间的耦合气体可渗透构件和所述泵的入口，所述foreline，或，在该情况下在第一真空泵是一个涡轮分子泵，一个midstage线。 |
微信公众号