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产业专利数据

具有该离子源及质谱仪

KR1020120127690 2012-11-12 发明授权

2014-2-14

[docdb]根据本发明的一个实施例中，离子源包括阳极管供给的气体的一侧通过电离并排出到另一侧，和具有狭缝的外圆周中，灯丝下料的热电子以通过电离气体狭缝，至少一个孔，通过该通过减少扩散的热电子的热电子供给到阳极管，扩散阻挡层之间设有狭缝和灯丝。