| 质量光谱仪用于离子注入装置 |
| JP2006094718 2006-3-30 发明申请 |
| 2007-10-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一个质量光谱仪用于一离子注入装置，与其中所述的总量入射离子束的电流，离子物质的比，和一种中性粒子的量可以被精确测量，所述离子物质的比可以被测量的离子注入期间，通过消除需要较小的电能操作成为可能的用于一种用于磁激励功率源，电场形成，和二次电子生成控制，和该装置作为一个整体可以compactified。溶液 : 所述质量光谱仪包括一个永久磁体13面向一个离子源2，设置在一位置，其中一个该离子束5的部分，其具有一基板6是穿过所述的周围区域入射，以及形成在所述方向正交的磁场到所述入射离子束; 一种离子量测量仪器，可测量的总离子的量和每个离子物质的量; 所述离子束偏转到其中所有的由所述磁场是入射; 和一种中性粒子测量仪器17，设置成使得所有所述中性粒子，其不偏转，通过所述磁场被入射到所述中性粒子测量仪器17。该离子量测量仪器包括一个法拉第杯15和一可动屏蔽板16。版权 : (C)2008，inpit |
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