| 一种质谱仪气体进样的流量控制系统 |
| CN201320496776.8 2013-8-14 实用新型 |
| 2014-1-22 |
| 本实用新型涉及一种质谱仪气体进样的流量控制系统，属于质谱仪进样流量控制技术领域。一种质谱仪气体进样的流量控制系统，其特征在于：包括温控壳体(6)，所述温控壳体(6)内设有压力控制模块；所述压力控制模块包括三通转换接头(1)，所述三通转换接头(1)的进口端与进样电磁阀(2)连通，进样电磁阀(2)与外部的气体样品连通；所述三通转换接头(1)的第一出口端与压力平衡电磁阀(3)连通，所述压力平衡电磁阀(3)与外部的压力稳定装置(9)连通；所述三通转换接头(1)的第二出口端同时与外部的离子腔(5)及排气电磁阀(4)连通，所述排气电磁阀(4)与外部的清洗真空泵连通。 |
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