| 质量分析可变出口孔 |
| TW101122956 2012-6-27 发明申请 |
| 2014-1-1 |
| 提供的是从离子束线减少不要的离子布植物种同位素之方法和设备。在此揭示的设备是质量分析可变出口孔，其选择性的减少离子束所见的出口孔尺寸。於一实施例，可变的质量分析出口位在质量分析器里，而位置是在解析孔的上游，并且建构成有效限制出口孔的尺寸以允许所要的布植同位素通过，同时阻挡不要之布植同位素的通过。於一特殊的实施例，质量分析可变出口孔安装於束导引器里，其转而安装在原子质量单位(AMU)磁铁的磁极之间。机械驱动机制能够使阻挡结构以渐进的方式移入束路径，而该方式是由受制於束特徵的控制单元所导引。 |
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