| 一种方法和装置，用于观察一带电粒子束 |
| JP2012127710 2012-6-5 发明申请 |
| 2013-12-19 |
| 要解决的问题 : 污染的观察图像的观察时间可以被呈现给用户。溶液 : 所述控制计算机52，所述的分压所述的残余气体20在每个气体种类和先前获得的观察条件数据和通过污染物的污染所产生的速度相关的数据产生速度特性数据被存储在所述存储装置，观察条件当接收该输入的数据，在质量光谱仪19所述腔室11和所述的残余气体20通过测量该局部压力的气体种类，一种气体物质和所述的分压得到。污染相关联的产生速度特性数据被获得，此外，其所述污染物的生成速度是指所述特征数据，所产生的污染物速度条件对应到该数据被获取，和获取的污染物的生成速度，可以获得令人满意的观察图像作为所产生的污染的量的最大值是基于先前设置在所述污染物的量和阈值，计算该时间可以被观察到，所述显示装置上显示的是55。选择绘制 : 图1 |
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