| 用于高深宽比纳米级计量/共焦显微镜的基于纳米线尖端的原子力显微镜 |
| US16349918 2017-11-29 发明申请 |
| 2020-6-11 |
| 本发明公开了可用于显微镜，例如原子力显微镜(AFM)中的纳米线，作为AFM探针的一部分，以及用于其它用途。 纳米线可以由III族氮化物例如外延层形成，外延层可以是氮化镓，氮化铟，氮化铝和这些材料的合金，或者可以包括氮化镓，氮化铟，氮化铝和这些材料的合金。 在使用AFM探针测量测试样品表面形貌的过程中，纳米线可以被激活并被激发发出光，从而用光照射表面。 在一个实施例中，例如通过附着有纳米线的光纤，AFM探头本身可以收集光。 |
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