| 离子检测器 |
| JP2008141195 2008-5-29 发明申请 |
| 2009-12-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个离子检测器通过减少所述部件的数量可以实现小型化和然后通过便于组装工作的同时充分保证所述部件之间的位置精度。溶液 : 一法拉第杯4以检测离子和一个MCP6是由一对夹持的基板9; 11，分别。通过这样的结构，可以确保足够的位置精度所述的通过固定从两侧各自的部件由该一对的基板9，11，和通过一简单的结构，该部件的数量被减少。此外，定位所述各自的工作和固定的工作部件被简单地夹持的同时进行的工作它们由所述基板9，11，从而容易地进行该组装工作。此外，所述MCP的一个入射面6a6是沿轴向延伸地设置，从而存在线一引导从开口部2到法拉第杯4，从而使空间被有效地利用该离子检测器1比较，以达到所述的小型化与所述的情况下，它被设置，以该法拉第杯4被沿宽度方向的。版权 : (C)2010，inpit |
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