| 离子束装置和方法采用磁扫描 |
| WOUS07013985 2007-6-13 发明申请 |
| 2007-12-21 |
| 一种多用离子注入机束线的配置包括一个质量分析仪磁体，随后通过一个磁扫描装置和磁准直器束中引入的弯曲到所述的组合路径，该束线共同的单原子构成用于使注入掺杂剂离子物质的簇离子，该束线的配置具有一个质量分析仪磁体限定一极之间的相当大的宽度的间隙所述磁铁的铁磁性极和一质量选择孔径，该分析器磁体尺寸，以接受一离子束从一槽形成离子源提取孔径至少约大约80的高度和宽度至少约大约7; 和，以产生分散在所述质量选择一个平面中对应的孔径到所述光束的宽度，所述质量选择孔径可被设置到一个质量-选择的所述簇的宽度尺寸，以选择一束离子所述相同的掺杂剂的种类，但递增地不同分子量的，所述质量选择孔径也可被设置到一基本上较窄的质量-选择宽度和所述分析器磁铁具有一种分辨率在所述质量选择孔径足以使选择一种单原子的掺杂剂离子束的基本上单个原子或分子的重量，所述磁扫描装置及磁准直器被构造成连续弯曲所述离子束在所述相同的读出，其是在所述相反的读出以使所述弯曲的该束线引入通过该分析仪的磁铁。 |
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