| 照射方向可变离子照射装置，和二次离子质谱仪 |
| JP2006191603 2006-7-12 发明申请 |
| 2008-1-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一种二次离子质谱仪能够改变所述的入射角度的主离子与相对于该样品之间的一个期望的检测条件不改变样品和一个检测器。溶液 : 该二次离子质谱仪包括这种照射方向可变离子照射装置，一个样品基，和一质量光谱仪。所述照射方向可变离子照射装置具有一机构，其包括 : 一固定离子枪; 一第一偏转板能够控制所发射的所述的行驶方向的变化的离子，和更靠近该离子枪的照射路径中; 和一第二偏转板能够控制所发射的所述的行驶方向的变化的离子，和更远从离子枪，和在其第一偏转板和第二偏转板可以独立转动的每个其他周围的一定点。版权 : (C)2008，inpit |
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