| 扫描探针显微镜，扫描头和方法 |
| EP18210229 2018-12-4 发明申请 |
| 2020-6-10 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的扫描头，所述扫描头被布置用于相对于衬底表面移动探针，所述探针包括导电悬臂， 该磁头包括：第一电极，其定位成使得电容器形成在第一电极和第二电极之间的间隙两端，其中第二电极由导电悬臂形成； 电压源，用于通过向电容器施加电压来致动导电悬臂； 以及至少一个第一电阻，其串联设置在所述电压源与所述第一和第二电极中的一个之间，以形成用于衰减所述悬臂的振动的RC电路。 |
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