| 可变入射角暗场显微镜 |
| EP18210497 2018-12-5 发明申请 |
| 2020-6-10 |
| 本发明涉及光学成像。 为了提高为具有暗场成像能力的光学成像设备产生所需照明光的效率，提供了一种光学成像设备，其包括光源，光束整形光学装置和聚光元件。 光源被配置为提供准直光束。 光束整形光学装置被配置成将准直光束转换成准直空心光束。 聚光元件被配置为将准直的中空光束聚焦到样品上，以以入射角照射样品，从而产生散射光以创建样品的暗场图像数据。 光束整形光学装置包括第一光学元件和第二光学元件。 所述第一光学元件经配置以将所述准直光束转换为空心锥光束。 所述第二光学元件沿光轴远离所述第一光学元件定位，并且被配置为将所述空心锥光束转换为所述准直空心光束。 所述第一光学元件和所述第二光学元件中的至少一个被配置为可沿所述光轴移动，使得所述准直中空光束的尺寸可调节以以可变入射角照射所述样品。 |
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