| 一种扫描探针显微镜狭小实验腔环境气氛精确控制装置 |
| CN202010115921.8 2020-2-25 发明申请 |
| 2020-6-9 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜狭小实验腔环境气氛精确控制装置，包括第一进气口、第二进气口、主气体管道、辅气体管道、加湿气体管道、气体循环管道、外置混合腔、实验腔和传感反馈系统。第一进气口通过主气体管道与外置混合腔相连。第二进气口通过辅气体管道与外置混合腔相连。辅气体管道在经过辅气体电磁换向阀后单独分出一支加湿气体管道，加湿气体管道另一端与外置混合腔相连。气体循环管道一端与外置混合腔相连，另一端与实验腔相连。传感反馈系统连接外置混合腔内部的气体浓度传感器，并控制主气体电磁换向阀和辅气体电磁换向阀。本发明能够实现氮气、氧气、氢气、氩气、水蒸气、酒精蒸汽等单一或两者混合的环境气氛的精确制备。 |
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