| 分析装置，特别是质量光谱仪，包括两个分析室，和衬底泵和前一分析室之间设置节流，这种使衬底泵prevails下压力在涡轮分子泵的出口 |
| DE102013204253 2013-3-12 发明申请 |
| 2013-9-19 |
| 调查装置等的质量光谱仪具有至少两个untersuchungskammern(10，12)。一种vorvakuumpumpe是与所述第一untersuchungskammer(10)以及作为与一个放电开口(32)的一个涡轮分子泵(34)连接。一个入口(36)的所述的涡轮分子泵(34)与第二是连接untersuchungskammer(12)。与检测器以引入(20)。与高messempfindlichkeit它是可能的，第一中untersuchungskammer(10)大质量块的气体。这导致该事实其在第一untersuchungskammer(10)更高的压力prevails。为了避免还在该放电开口(32)这种较高的压力prevails到所述的涡轮分子泵(34)，它可以被这里根据本发明的一个开始vorvakuumpumpe(24)具有较高的吸附性能和另外一个节流阀(38)预期的。由于规划所述的节流阀(38)一种相对较多较高的可压在第一untersuchungskammer(10)相比，所述压靠在该放电开口(32)。所述的涡轮分子泵(34)要实现。 |
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