| 质量光谱仪 |
| RU2012125969 2012-6-22 实用新型 |
| 2013-1-20 |
| 有用的模型是一种下测量的技术和所述区域，在特定的，以所述的所述质量分析仪的光谱的所述所述的离子和中性粒子成分，其中形成等离子流和离子束的部分，形成作为一个结果所述的质谱仪的限制。在入口装置(2)在真空室(1)所述漂移管的质量光谱仪(13)和接地膜片(14)。所述漂移管(13)之间和所述电离室(3)，和使所述的电源装置由该管理器漂移管(13)，该电离室(3)和通过热离子阴极(4)通过所述应力的所述脉冲发生器的所述复杂的形式(15，16和17)，基于通过触发脉冲，其所对应的所述的输出上分开的信道(19; 21和20)时钟脉冲发生器(12)与所述适当的时间延迟，其允许由于该定时分离的所述所述的离子和中性成分测定的处理，其进入真空室(1)所述等离子体的流量，以使用一个装置和显著地简化，以加速，以降低成本的所述实验的过程。漂移管(13)提供了一种可能性 : 制动所述颗粒的所述等离子体的离子组分的所述流; 该离子的截止所述周期之前所检查的所述的中性等离子体的部件; 所述的加速度所述的离子流的等离子体。在结合与该接地膜片(14)它们有助于向下漂移管(13)所述的该损耗的降低离子，该电离室(3)之前获得所述等离子体的流量从所述的中性成分。3illus。 |
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