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产业专利数据

具有与质谱仪相关联嵌套腔室的真空泵

US12527834 2008-2-21 发明授权

2013-9-10

描述了一种用于抽真空一个或多个容积的真空泵。真空泵具有多个压力级和至少两个吸入口。用于第一压力级的外部吸入口在空间上包围用于第二压力级的内部吸入口，使得内部吸入口仅密封对抗外部吸入口内的压力，而不是对抗外部压力。