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碳注入工艺和碳离子前体组合物

US13010397 2011-1-20 发明申请

2012-7-26

用于注入碳离子的方法和碳离子前体组合物通常包括蒸发和电离包括在离子源中的碳氧化物和甲烷气体的气体混合物以产生等离子体和产生碳离子。等离子体中的离子化碳随后被提取以形成离子束。用质量分析器磁铁对离子束进行质量分析，以允许离子化碳通过并注入到工件中。