| 远紫外线光源装置。 |
| JP2011189808 2011-8-31 发明申请 |
| 2012-1-26 |
| 要解决的问题 : 以适当地确定所述定时，以代替一个远紫外(EUV)集电镜通过准确地考虑所述反射镜的溅射量的影响在一个激光产生的等离子体(LPP)EUV光源装置。解决方案 : 一种EUV光源装置包括 : 一个离子检测器，其被设置在一真空室和检测离子从产生的等离子体，以便输出检测信号指示离子量; 一个计算单元，其将所述离子量基于所述检测信号输出从所述离子检测器上，从而作为以计算一个积分值; 和一个确定单元，其输出判定信号指示的定时，以更换或修理一个集电镜当所述的集成通过所述计算单元计算值达到一预定参考值。版权 : (C)2012，inpit |
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