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表面飞行时间质谱
US13328091 2011-12-16 发明申请
2012-4-12
本发明提供了一种粒子检测器,用于计数和测量二次电子和散射离子和中性粒子的飞行时间,并关联这些和后向散射离子/和中性粒子之间的重合度,同时保持用于撞击表面的连续非脉冲微聚焦一次离子束。 一次粒子散射和二次粒子发射的强度与聚焦光束撞击材料表面的位置相关,从而通过横跨表面扫描聚焦光束获得空间分辨的表面元素和电子结构图。
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