一个二次离子质谱仪
 
JP2012026429  2012-2-9  发明申请

2013-8-22
 
  要解决的问题 : 在所述常规二次离子质谱法,非常精确的结构在所述样品级被获得。此外,X或Y轴在该轴1的任一方向,所述数量10或更多次\/第二是用于往复运动所需的,一驱动部分需要具有耐久性。溶液 : 该二次离子质谱仪,一样品从倾斜方向和与一个离子束照射照射,所述扫描离子束和所述偏转部分,通过施加一个电压对应的所述偏转部到所述扫描的量,和离子束被会聚的会聚单元,具有。选择的绘制 : 图。1
 
仿站