| 装置，用于防止所述光学信号的强度降低，光发射光谱仪，光学仪和质谱仪hanving这种 |
| KR1020110095713 2011-9-22 发明申请 |
| 2013-4-1 |
| 目的 : 一种装置，用于防止光学信号的强度降低，一个光发射光谱仪，一光学仪器和一个具有相同的质量光谱仪被提供以防止性能劣化通过使用一屏蔽滤光器具有一网格结构。构成 : 一屏蔽滤波器(31)具有用于阻断RF的电磁波所述网格结构。所述射频电磁波被辐射到一个等离子体用于晶片制造领域。所述屏蔽滤光器安装在前所述的光学窗口的一个光发射分光计。所述屏蔽滤光器收集的带电粒子穿过一种网格结构。所述光发射分光计测量所述的等离子体领域。 版权 kipo 2013 |
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