| 用于质谱仪电容器组件 |
| US13703912 2011-7-11 发明申请 |
| 2013-8-8 |
| 一种用于测量质谱仪中射频电压电平的电容器组件(1)。 组件(1)包括具有第一和第二电容板(3、4)、整流电路(5)和真空外壳馈通(6)的RF感测电容器(2)，它们都安装在质谱仪的真空外壳内。 第一电容器板(3)适于与电压源连接，并通过第一绝缘垫片(31)安装在外壳内。 第二电容器板(4)嵌套在第一绝缘垫片(31)内，并通过第二绝缘垫片(41)安装在外壳内。 整流电路(5)与第二电容器板(4)和真空外壳馈通(6)电连接。 |
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