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质谱仪-布置

DE102007027352 2007-6-11 发明申请

2008-12-18

本发明涉及一种质谱仪装置(10)，其包括具有带有质谱仪预真空出口(30)的质谱仪预真空真空室(20)的壳体(86)、至少两个质谱仪高真空真空室(21、22、23)、以及与高真空真空室(21、22、23)连接并且具有预真空出口(89)的集成涡轮分子泵(12)。两个预真空出口(30、89)通入壳体(86)中的共同的预真空室(98)中，该预真空室又通入壳体出口(88)中。