用于质谱仪的真空腔系统
 
CN201010194015.8  2010-6-8  发明申请

2011-12-14
 
  本发明公开了一种用于质谱仪的真空腔系统,其包括一真空腔,所述真空腔通过一连接腔连接一分子泵,所述分子泵连接一不锈钢管,所述真空腔还连接一真空规,所述真空腔两端设有端盖,所述端盖与真空腔连接处加设有O型密封圈,所述真空腔的表面粗糙度Ra达到0.8-1.6,所述真空腔使用的是铝材料。本发明的用于质谱仪的真空腔系统结构简单,易于拆装,可以保证质谱仪的真空度达到一个较高的水平。
 
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