| 大气压等离子体质谱仪 |
| US13537285 2012-6-29 发明授权 |
| 2013-7-9 |
| 质谱仪包括第一至第五真空室和单个分流涡轮分子泵。 第一真空室从大气压等离子体中提取电离样品。 第二真空室包括用于从来自第一真空室的离子中提取和引导离子束的装置。 第三真空室包括第一离子光学分离器装置。 第四真空包括碰撞/反应室,碰撞/反应气体被引入到该碰撞/反应室中。 第五真空室包括第二离子光学分离装置和检测器。 分流涡轮分子泵具有多个入口,用于差分地抽真空第二、第三、第四和第五真空室。 第四真空室连接到分流涡轮分子泵的入口,该入口提供高于分流涡轮分子泵的入口的压力,第三真空室连接到分流涡轮分子泵的入口。 |