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源组件和包括该源组件的质谱仪
CN201090001207.6 2010-10-8 实用新型
2013-6-26
本实用新型公开了一种源组件和包括该源组件的质谱仪。源组件包括:活动部件,构造为在沿第一方向运动时提供轴向力,沿第二方向运动时解除轴向力;以及固定部件,联接到活动部件并构造为从活动部件接收轴向力,固定部件包括联接到真空端口的源,真空端口构造为在从活动部件提供轴向力时,在装置中的真空室的密封面提供基本上不漏流体的密封。
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