电子显微镜
 
JP2018228545  2018-11-16  发明申请

2020-6-4
 
  [问题]具有电镜观察的高空间分辨率的体样品。 物镜6为[A], 样品9面对环形轭13顶端的锥形部分15(外径R1, 孔R2)形成, 9g为尖端13和外部R1样品之间距离的3倍或更多, 在垂直于光轴1213的平面内(该图水平地设置在样品底座30中),比磁轭14的锥形部分的角度大20°到15°(锥角), 外轭和磁场叠加型穿孔对称地和偶数地布置,两组相对的镜面像差校正像差校正器与包括镜面的两级像差校正器同轴地布置。 图3[附图]
 
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