高性能微制造静电四极透镜
 
CN200810006812.1  2008-1-31  发明申请

2008-8-6
 
  本发明提供了在微型四极静电透镜的几何形状中排列圆柱电极组的方法,所述微型四极静电透镜可以用作四极质谱仪中的质量过滤器。电极成对安装于由绝缘基底上的导电部分形成的微制造支撑上。导电部分的完全分割提供了在共面圆柱电极之间的低电容耦合,并且允许并入Brubaker预过滤器以提高在给定质量分辨率下的灵敏度。完整的四极由通过另外的导电间隔物间隔开的两个这样的支撑构成。间隔物在电极周围连续以提供导电屏蔽。
 
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