质量光谱仪
 
JP2007020982  2007-1-31  发明申请

2008-8-14
 
  要解决的问题 : 以提供一个质量光谱仪能够容易地实现精密测量的一个整体的压力和一分压。溶液 : 该质谱仪11包括一个离子源9用于测量气体的电离一种分子,一质量分离部分5用于确定一过程的离子通过该离子源9产生在每个质量电荷比; 和一个离子收集电极7,用于捕获所述离子与所述特定质量电荷比其穿过所述质量分离部5。在所述质量光谱仪11,一个离子收集电极8用于测量该整个压力,其捕捉整个通过该离子源9产生的离子的种类是设置在所述质量分离的相反侧部分5与所述离子源9夹在它们之间,所述离子收集电极8用于测量该整个压力是形成在一板形状,和一开口被形成在所述离子收集电极8。版权 : (C)2008,inpit
 
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