| 分光镜的质量 |
| JP2012223084 2012-10-5 发明申请 |
| 2013-5-23 |
| 要解决的问题 : 为了解决这种问题的一种常规的分光镜的质量 : 由于主光束不能所述与其垂直的一个测量物体的表面上撞击，出现阴影的区域具有相对于所述主光束当所述表面是不均匀，并由此所产生的离子的分布之间发生发散从一个样品和所述所述测量对象物质分布在所述的表面。溶液 : 所述质量分析装置具有一个初级离子生成部，一主离子光学系统用于照射测量对象与主离子，一种用于检测二次离子检测器，和一个用于引入离子二次离子光学系统从所述测量物体到所述检测器是一个时间--飞行的质量光谱仪，其中所述初级离子生成中的部分被安装在所述离子光学轴的所述外侧的所述二次离子光学系统，和一偏转部分之间提供所述测量对象和所述检测器。版权 : (C)2013，inpit |
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