| 采用磁扫描离子束装置和方法 |
| US12301557 2007-6-13 发明申请 |
| 2009-10-22 |
| 一种多用途离子注入机束线配置，包括质量分析器磁体，接着是磁扫描器和将弯曲引入束路径的磁准直器组合， 该束线构造成能够注入普通单原子掺杂离子种类的团簇离子， 所述束线配置具有质量分析器磁体，所述质量分析器磁体在所述磁体的铁磁极和质量选择孔之间限定了大致宽度的磁极间隙， 所述分析器磁铁的尺寸被设计成接受来自槽形离子源提取孔的至少约80mm高和至少约7mm宽的离子束，所述槽形离子源提取孔的尺寸被设计成接受来自槽形离子源提取孔的至少约80mm高和至少约7mm宽的离子束， 以及在对应于光束宽度的平面中的质量选择孔径处产生色散， 所述质量选择孔径能够被设置为质量选择宽度，所述质量选择宽度的大小被设置为选择具有相同掺杂物种类但递增地不同分子量的团簇离子的束，所述质量选择孔径的大小被设置为选择具有相同掺杂物种类但递增地不同分子量的团簇离子的束， 所述质量选择孔还能够被设置为基本上较窄的质量选择宽度，并且所述分析器磁体在所述质量选择孔处具有足以能够选择基本上单个原子或分子量的单原子掺杂离子束的分辨率，所述磁扫描器和磁准直器被构造成在相同的意义上连续地弯曲所述离子束，所述离子束在相反的意义上由所述束线的分析器磁体引入。 |
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