质谱用离子检测器、离子检测方法及离子检测器制造方法
 
US13279081  2011-10-21  发明申请

2012-4-26
 
  本发明提供了一种离子检测器,用于改善用于将待检测离子拉入到二次电子倍增器(SEM)的第一级电极的电场的效果,以及改善杂散光减少的效果。 在一个示例性实施例中,离子检测器包括SEM和用于将离子引入SEM的第一级电极侧的引入电极。 所述引入电极的面积和所述引入电极与所述引入电极的相邻电极之间的电位差中的至少一个(所述相邻电极不是SEM的电极)被设置成使得当离子被引入到所述检测器中时,进入所述第一级电极的所述检测器内部产生的内部杂散光的光量不大于进入所述第一级电极的所述检测器外部产生的外部杂散光的光量。
 
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