| 二次离子质谱仪的样品保护装置和保护方法 |
| CN201110119568.1 2011-5-10 发明申请 |
| 2011-10-26 |
| 本发明公开了一种二次离子质谱仪的样品保护装置和保护方法，所述二次离子质谱仪包括电子发射装置和电子偏转装置，所述电子发射装置发射的电子经所述电子偏转装置偏转后到达所述样品的表面，所述样品保护装置和保护方法采用取样电路、控制电路和电磁调整装置的结构，所述控制电路根据所述取样电路对所述样品的监测信号控制所述电磁调整装置，所述电磁调整装置产生的电场或磁场能够改变电子的运动轨迹，使电子偏离所述样品，从而达到保护样品的目的。 |
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